SF6氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。1947年提供商用。當前SF6氣體主要用于電力工業中。SF6氣體用于4種類型的電氣設備作為絕緣和/或滅??；SF6斷路器及GIS（在這里指六氟化硫封閉式組合電器，國際上稱為“氣體絕緣開關設備”（Gas Insulated Switchgear)）、SF6負荷開關設備，SF6絕緣輸電管線，SF6變壓器及SF6絕緣變電站。80%用于高中壓電力設備。
